项目需求
此项目的组合式空气处理机组应用于洁净生产厂房,工程范围包括:还原厂房A、还原厂房B、整理厂房,其中整理厂房包括打包间、粉碎分选间、硅料暂存间、脉冲破碎间、酸洗间等不同生产功能的车间。根据各厂房对温湿度的要求,设计空气处理过程:夏季新回风混合后经过初效过滤,再经冷水盘管降温除湿,蒸汽盘管加热,经中效和高效过滤器处理后送入车间;冬季新回风混合后经过初效过滤,再经蒸汽盘管加热,经中效和高效过滤器处理后送入车间,如混风温度低于5度则开启蒸汽预热盘管。部分机组需设置二次回风、蒸汽加湿器。高效过滤段根据空气处理系统的设计,一部分装在空调箱中,一部分装在风管出风口。
机组均配置G4板式初效、F8袋式中效过滤器,其中对洁净度要求高的车间还应配H13高效过滤器。另外因空气中含HCL,机组中主要部件如过滤器、盘管、风机、电机等都应有相应的防腐措施,所有与空气接触的部分还需另外做喷涂处理。除保证机组部件可使用较长时间,还要避免因腐蚀产生的微粒进入送风管。
方案介绍
江苏鑫华半导体材料科技有限公司是协鑫集团光伏龙头企业保利协鑫能源控股有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资成立的,经营范围主要是研发、生产及销售半导体级多晶硅及其他半导体原材料和电化产品。总投资约38亿元,生产规模为5000吨/年,产能位列全球第三。该项目是工信部2016年强基工程中标项目、江苏省重点项目、徐州市重大项目。
空调方案
此项目机组对防腐性能要求较高,各部件的防腐处理措施如下:
1、 机组内面板、过滤器安装框架、盘管框架、风机电机支架、接水盘等钣金件均采用SUS304不锈钢板;
2、 初中效过滤器的滤料采用化纤无纺布材质,高效过滤器的滤料采用低硼玻纤材质,边框为ABS塑框;
3、 冷盘管采用铜管铝翅片做电泳处理,蒸汽盘管采用碳钢管铝翅片做电泳处理;
4、 蒸汽加湿器采用304不锈钢喷杆,表面通过三次高温烧结工艺,涂覆耐高温陶瓷隔热涂层;
5、 所有与空气接触的部件均做环氧树脂喷涂处理。
根据不同的生产厂房对空气处理的需求进行功能段排布,核算冷热盘管、加湿器参数是否可满足设计的工况要求。盘管的迎面风速≤2.5m/s,杜绝飞水。机组中合理设置检修段用于各主要功能段的检修。
项目总结
项目地点:江苏徐州
所属行业:电子半导体
设计考虑:洁净、防腐、精确的温湿度控制
总风量:1,430,000m3/h
采用机型:EKDM组合式空气处理机组 26台